Електронни и йонни технологии

В книгата се разглеждат физичните явления, свързани с производството на интензивни потоци от електрони и йони. Основните резултати от взаимодействието на ускорените частици с различни материали са систематизирани. Освещава се методът за нанасяне на тънки слоеве чрез йонно разпрашване и електроннолъчево изпарение. Разгледани са процесите по обработка на микроелектронни структури, включващи йонно ецване, имплантация с йони и литография както с електрони, така и с йони. Представени са актуални техники за анализ на повърхности и микроструктури посредством електронни и йонни лъчи. Описват се протеклите процеси, настоящото състояние и достиженията в областта на електроннолъчевото заваряване, топене и рафиниране, а също така модификацията на повърхностите чрез електронни и йонни лъчи. Предоставена е информация относно конструкцията и функционирането на използваните устройства; описани са методологии за избор на технологичните параметри; предложени са алгоритми за компютърно моделиране на процедурите; обсъдени са резултатите от проведените числени експерименти от автора и неговия екип.